jonatha75的部落格

我以前做半導體時，常有接觸 DI WATER，要一星期更新所需物料和程序一次，用於界 DIE 機的沖洗系統。

找到以下資料，雖不大對題，但可免沒人答要刪題扣分：

去離子水的定義
  去離子水是指除去了呈離子形式雜質後的純水。國際標準化組織ISO/TC 147規定的“去離子”定義爲：“去離子水完全或不完全地去除離子物質，主要指採用離子交換樹脂處理方法。”現在的工藝主要採用RO反滲透的方法制取。應用離子交換樹脂去除水中的陰離子和陽離子，但水中仍然存在可溶性的有機物，可以污染離子交換柱從而降低其功效，去離子水存放後也容易引起細菌的繁殖。   在半導體行業中，去離子水被稱爲“超純水”或是“18兆歐水”。

去離子水的處理步驟
  從自來水到去離子水一般要經過幾步處理 ：
  1、先通過石英砂過濾顆粒較粗的雜質
  2、然後高壓通過反滲透膜 
   3、最後一般還要經過一步紫外殺菌以去除水中的微生物
  4、假如此時電阻率還沒有達到要求的話，可以再進行一次離子交換過程最高電阻率可達到18兆。 
 相對而言，蒸餾水只是先氣化再冷凝，其純度如電導率一般不如純度高的去離子水，半導體工業中用的大多數是高純度的去離子水

擇自： 15us/cm 10us/cm 5us/cm 3us/cm 2us/cm 1MΩ.cm 5MΩ.cm 10MΩ.cm 15MΩ.cm 16MΩ.cm 18MΩ.cm 18.2MΩ.cm等等

參考資料：<